電子顕微鏡の性能・機能一覧
PERFORMANCE & FUNCTION LIST

 
電子銃 TEM点分解能 STEM機能プローブ径 分析用検出器 試料ホルダー
反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡
JEM-1000K RS
熱電子放出LaB6 0.145nm 有 1.0nm EELS スタンダード(一軸)、二軸傾斜、加熱(一軸・二軸・ワイヤー)、冷却(Liq.N2・Liq.He)、360°軸回転、360°皿回転 ナノインデンター
高電圧用収差補正開発試験装置
EM-10000BU
電界放出加熱陰極 0.11nm 有 <70pm EDS、EELS スタンダード(一軸傾斜)、EDS用一軸傾斜、二軸傾斜、EDS用二軸傾斜、加熱二軸傾斜
収差補正電子顕微鏡
JEM-ARM 200F-Cold
電界放出冷陰極 0.19nm 有 <60pm EDS、EELS スタンダード(一軸)、二軸傾斜、EDS用二軸傾斜
高分解能透過型電子顕微鏡システム
JEM-2100F HK
電界放出加熱陰極 0.23nm 有 1.0nm EDS スタンダード(一軸傾斜)、EDS用一軸傾斜、二軸傾斜、EDS用二軸傾斜、加熱二軸傾斜
透過電子顕微鏡システム
JEM-2100 plus
熱電子放出LaB6 0.25nm 有 <3nm EDS スタンダード(一軸傾斜)、EDS用一軸傾斜、EDS用二軸傾斜、加熱二軸傾斜、3連一軸傾斜
走査電子顕微鏡
JSM-6610A
熱電子放出W <50.0nm(SEM像) EDS スタンダード、断面観察用
高速加工観察分析装置システム
MI4000L
電界放出加熱陰極+Gaイオン銃 1.1 nm(SEM像)
0.8 nm(STEM像)
4.0 nm(SIM像)
EDS、EBSD SEM/FIB対応ホルダ、FIB対向専用ホルダ、45度傾斜ホルダ、TEMメッシュホルダ、ニードルホルダ
(2014年4月現在)

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